排放自工艺含VOCs的废气进入双槽RTO，三向切换风阀(POPPET VALVE)将此废气导入RTO的蓄热槽(Energy Recovery Chamber)而预热此废气，含污染的废气被蓄热陶块渐渐地加热后进入燃烧室(Combustion Chamber)，VOCs在燃烧室被氧化而放出热能于第二蓄热槽中之陶块，用以减少辅助燃料的消耗。陶块被加热，燃烧氧化后的干净气体逐渐降低温度，因此出口温度略高于RTO入口温度。三向切换风阀切换改变RTO出口/入口温度。如果VOCs浓度够高，所放出的热能足够时，RTO即不需燃料。例如RTO热回收效率为95%时，RTO出口仅较入口温度高25℃而已。

蓄热式催化剂焚烧炉(RCO)

排放自工艺含VOCs的废气进入双槽RCO，三向切换风阀(POPPET VALVE)将此废气导入RCO的蓄热槽(Energy Recovery Chamber)而预热此废气，含污染的废气被蓄热陶块渐渐地加热后进入催化床(Catalyst Bed)，VOCs在经催化剂分解被氧化而放出热能于第二蓄热槽中之陶块，用以减少辅助燃料的消耗。陶块被加热，燃烧氧化后的干净气体逐渐降低温度，因此 出口温度略高于RCO入口温度。三向切换风阀切换改变RCO出口/入口温度。如果VOCs浓度够高，所放出的热能足够时，RCO即不需燃料。例如RCO热回收效率为95%时，RCO出口仅较入口温度高25℃而已。

催化剂焚烧炉

Catalytic Oxidizer

催化剂焚烧炉的设计是依废气风量，VOCs浓度及所需知破坏去除效率而定。操作时含VOCs的废气用系统风机导入系统内的换热器，废气经由换热器管侧 (Tube side)而被加热后，再通过燃烧器，这时废气已被加热至催化分解温度，再通过催化剂床，催化分解会释放热能，而VOCs被分解为二氧化碳及水气。之后此 一热且经净化气体进入换热器之壳侧(shell side)将管侧(tube side)未经处理的VOC废气加热，此换热器会减少能源的消耗，最后，净化后的气体从烟囱排到大气中。

直燃式焚烧炉

Thermal Oxidizer

直燃式焚烧炉的设计是依废气风量，VOCs浓度及所需知破坏去除效率而定。操作时含VOCs的废气用系统风机导入系统内的换热器，废气经由换热器管侧 (Tube side)而被加热后，再通过燃烧器，这时废气已被加热至催化分解温度(650~1000℃)，并且有足够的留置时间(0.5~2.0秒)。这时会发生热 反应，而VOCs被分解为二氧化碳及水气。之后此一热且经净化气体进入换热器之壳侧(shell side)将管侧(tube side)未经处理的VOC废气加热，此换热器会减少能源的消耗(甚至于某适当的VOCs浓度以上时便不需额外的燃料)，最后，净化后的气体从烟囱排到大气中。